报告主题：纳米材料中非键相互作用的调控和应用开发
报告嘉宾：徐宏（副教授，清华大学核能新能源技术研究院）
时 间：2024年10月21日（周一）下午4点40
地 点：材料学院B2-534会议厅
报告人简介
徐宏，清华大学副教授，博士生导师。2005年-2012年在上海交通大学学习并获学士、硕士学位；2015年获日本分子科学研究所博士学位，同年到美国康奈尔大学从事博士后研究工作，2018年7月起受聘清华大学核能与新能源技术研究院。主要从事有机、无机纳米材料的设计和可控合成，极紫外光刻材料制备和光刻工艺开发、量子化学计算等方面的工作。目前已在Nature Chemistry, Nature Materials, Nature Nanotechnology, Nature Communications, Journal of the American Chemical Society, Angewandte Chemie等期刊发表文章90余篇，引用8000余次。(ORCID: 0000-0001-7918-1454)。
报告内容简介
极紫外（Extreme Ultraviolet, EUV）光刻是半导体先进制程的核心技术。由于光刻波长的急剧变化，传统光刻胶在光子利用率和材料尺寸上难以满足EUV光刻的需求。金属氧化物纳米颗粒型光刻胶拥有着非常高的无机含量，却具备了聚合物级别的成膜能力，是近年来材料化学领域的新发现。这一打破常规的光刻胶材料，具有远小于聚合物链的尺寸，高抗刻蚀能力和高EUV光吸收特性，在高分辨率EUV光刻方面表现出了巨大的潜力。本报告将从化学角度出发，介绍我们在纳米颗粒型光刻胶的成膜机制探索，以及颗粒间相互作用力调控方面的研究进展。在光刻性能开发方面，利用纳米颗粒的低极性特点，通过（曝光前）高效的电荷屏蔽和（曝光后）去屏蔽效应，开发了高灵敏度的光刻胶体系。同时，针对二次电子扩散导致的残胶缺陷问题，利用活性物种扩散抑制策略，大幅提高极紫外、电子束等高能光刻中的线条分辨率。
共价有机框架（Covalent Organic Framework, COF）是一类通过共价键链接的结晶性多孔材料。材料的结晶性来源于热力学控制的可逆聚合反应，非能量最低构象的热力学不稳定性致使其在合成时就被再次分解。COF的通道阵列和高比表面积在气体分离/储存，非均相催化，离子传输等方面有着广泛的应用前景。然而极差的化学稳定性，严重地限制其实际应用。我们通过层间非键作用力作用增强，解决了长期困扰该领域的材料稳定性问题，并进一步探索了COF材料在能源领域中的应用。通过多孔材料的高效物质传输优势和主-客体间相互作用，开发了能够加速离子传输的高效质子传输材料和锂离子传输材料；同时，利用多孔介质带来的辅助脱溶剂化效应，首次实现了对于锂金属负极表面副反应的抑制。
欢迎有兴趣的师生前来参加！
材料学院
2024年10月21日
撰稿：张晓颖、陈亚辉 审核：王东、王雷
